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1800度高温烧结炉

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单向退火炉

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单向退火炉

  • 所属分类:退火炉

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/05/15
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  • 详细介绍

单向退火炉

退火目的是什么?在高温(1750℃)加热状态下,通过高温促使晶体晶格打乱后重新排列,同时清除一些晶格内部缺陷,从而释放内部应力,为后续加工奠定良好的基础。晶体退火恒温时间为36小时;每炉次退火时间为5天左右。退火后的晶棒在切割完成后,晶片翘曲低于1丝,线小于2毫米、内应力、崩边现象及线痕度得到很大的提升;加工后的晶片成品率也达到了95%以上。成品率提高了,成本又降低了很多,同时延长了晶棒的切割线的使用寿命。


单向退火炉



主要技术参数

型号

LGYL-1800

单向退火炉

LGYL-1800

双向退火炉

LGYL-1650

单向退火炉

LGYL-1650

双向退火炉

有效工作区尺寸(mm)

860*340*300

860*340*300

860*420*450

860*420*450

额定功率

57KVA

57KVA

57KVA

57KVA

每炉装载量

4寸晶棒约5800mm

4寸晶棒约5800mm

4寸晶片约9000mm

4寸晶片约9000mm

额定温度

1750℃

1750℃

1600℃

1600℃

保温材料

氧化锆纤维

氧化锆纤维

氧化铝纤维

氧化铝纤维

移动轨道行程速率

1040.4mm/分

1040.4mm/分

1040.4mm/分

1040.4mm/分

升降平台行程速率

92.8mm/分

92.8mm/分

92.8mm/分

92.8mm/分

操控方式

手动与自动

手动与自动

手动与自动

手动与自动

工作电压

电炉加热380V

仪表工作220V

电炉加热380V

仪表工作220V

电炉加热380V

仪表工作220V

电炉加热380V

仪表工作220V

运行机构

丝杆、轨道、电动运行

丝杆、轨道、电动运行

丝杆、轨道、电动运行

丝杆、轨道、电动运行

加热元件

1900型硅钼棒(U型)

1900型硅钼棒(U型)

1800型硅钼棒(U型)

1800型硅钼棒(U型)

控制精度

≤±0.5℃

≤±0.5℃

≤±0.5℃

≤±0.5℃

控温方式

100段PID智能程序控温,可编程序控制器(PLC)控制+触摸屏+工控机


本文网址:/product/593.html

关键词:单向退火炉,1800退火炉

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